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雙探頭表面三維形貌分析系統(tǒng)

SKU: FM-DP-3D

技術參數：

　

探頭A

探頭B

工作距離

11mm

19mm

量程

±190um

±1700um

最大傾角

±28°

±21°

光斑尺寸

10um

20um

分辨率

10nm

40nm

精度

±0.02%F.S.

±0.02%F.S.

最小厚度測量

12um

66um

最大厚度測量

511um

5098um

電動臺參數：

XY平臺

驅動

直線磁軸電機

平臺大小

220X230mm

XY方向行程

100X100mm

分辨率

0.05μm

重復定位精度

<1μm

最大允許負重

2Kg

掃描速度

≤80mm/s

掃描間距

≥0.5μm

電氣特性

控制器（專用電腦）額定輸入

100-240V AC 5.3A 50/60Hz

驅動器（專用機箱）額定輸入

48V DC 2.1A

傳感器輸入

24V DC 3A
注意事項：
儀器成套性與可選購件可參考產品原頁面，本頁只提供儀器核心技術參數。
產品價格均含有商品運費（大陸地區(qū)除外）及發(fā)票的價格但是不包含工程師上門培訓及調試的費用。
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