美國(guó)Micro-VU Excel 660系列影像測(cè)量?jī)x

SKU: Excel660

技術(shù)參數(shù)

型號(hào)	Excel661UM	Excel661UC	Excel662UM	Excel662UC	Excel664UM	Excel664UC
測(cè)量行程	650x650x160mm		650x650x250mm		650x650x400mm
外形尺寸	1311x1604x1608mm		1311x1604x1788mm		1311x1604x2088mm
重量	1530kg		1550kg		1550kg
承載重量	100kg		100kg		100kg
平臺(tái)材質(zhì)	鋼構(gòu)
基座材質(zhì)	花崗巖
傳動(dòng)方式	Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z
電控系統(tǒng)	伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo), 搖桿
電源系統(tǒng)	93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp
XY 精度	Uxy=2.5+L/300μm		Uxy=2.8+L/300μm		Uxy=3.2+L/300μm
Z 精度	Ux=2.5+L/150μm		Ux=3.0+L/150μm		Ux=3.5+L/150μm
XY 重現(xiàn)性	2.5μm		2.8μm		3.2μm
Z 重現(xiàn)性	2.5μm		3.0μm		3.5μm
XY 加速度	1000mm/S2
Z 加速度	500mm/S2
XY 移動(dòng)速度	500mm/s
Z 移動(dòng)速度	150mm/s
光學(xué)尺分辨率	0.1μm
影像	黑白	彩色	黑白	彩色	黑白	彩色
光源	紅光LED	白光LED	紅光LED	白光LED	紅光LED	白光LED
照明系統(tǒng)	表面光, 輪廓光,同軸光
光學(xué)系統(tǒng)/放大倍率	12x 光學(xué)/3x 數(shù)字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率
軟件	InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista)
工作環(huán)境	20℃(68℉)±2°,30-80%濕度


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