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自由曲面三維面型檢測系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹

 產(chǎn)品功能：

   光學(xué)元件表面的三維面型測量、 面型逆向和面型輪廓精度質(zhì)量評價(jià)

檢測對象：

    自由曲面反射鏡、曲面蓋板玻璃、 玻璃面板、透鏡、精密模具、 晶圓硅片等

面向行業(yè)：

    HUD、AR、精密光學(xué)及 3D 曲面 玻璃等領(lǐng)域生產(chǎn)企業(yè)或研發(fā)機(jī)構(gòu)

技術(shù)特點(diǎn)：

1、自由曲面反射鏡及其它光學(xué)元件表面的光學(xué)非接觸、全場 3D 輪廓測量。

2、測量過程簡單,無需精密調(diào)整樣品姿態(tài), 單件測量時間一般小于 20 秒；檢測效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)優(yōu)于三坐標(biāo)和UA3P 等接觸式三維檢測設(shè)備，適合用于自由曲面光學(xué)面的全檢。

3、基于 CAD 模型或者方程式的三維面型數(shù)據(jù)比對分析，可自動完成面型質(zhì)量評價(jià)，輸出信息完善：包含完善的 3D 誤差分布圖、上下公差比例計(jì)算、PV 和 RMS 值、3D 顯示、曲率分析、斜率誤差以及凹凸分析。

4、完備的擬合分析：xy 多項(xiàng)式、Zernike、Legendre 擬合分析，可用于自由曲面零件的三維逆向分析以及注塑缺陷工藝分析。

5、豐富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻點(diǎn)，劃痕，刀紋，流紋以及塌邊等常見的注塑缺陷?？梢蕴峁┌祱鋈毕莘治觥？梢愿鶕?jù)用戶需求開發(fā)統(tǒng)計(jì)功能。

6、豐富的線性尺寸分析功能，可以分析整體線性尺寸和缺陷尺寸，并輸出報(bào)告。

7.單點(diǎn)車刀痕紋理誤差的三維定量分析，用于零件和模具表面彩虹紋和刀紋三維定量分析單點(diǎn)車反射鏡面型誤差測量結(jié)果（和激光干涉儀比較）PV=0.45um

8完善的測量輸出功能（測量原始數(shù)據(jù)輸出、可訂制化檢測報(bào)告輸出以及 Log 統(tǒng)計(jì)文件輸出），可根據(jù)用戶需求訂制輸出報(bào)告的內(nèi)容格式。

技術(shù)參數(shù)